還原爐底盤有哪些特點？

還原爐底盤具有以下特點：

1. 結構復雜且精細：包括底盤主體，主體內又分相對間隔設置的第一底盤、第二底盤和第三底盤，形成了冷卻腔室和進氣腔室。

2. 進氣與導流設計獨特：第三底盤設有進氣孔向進氣腔室通氣，冷卻腔室內設置多個同心間隔的導流環板，形成導流通道，使氣體均勻進入還原爐。

3. 環隙與擋板設置：第一底盤和第二底盤分別形成多個環隙，導流環板一端與環隙連通，其位于還原爐內的一端端部設有擋板，能遮擋導流通道部分。

4. 功能多樣的部件：導流環板一端還設置有換向環板、延長環板等，電極外設置套筒，底盤上有排氣管、冷卻水循環管等。

5. 多種分布方式：如進氣口組、還原尾氣出口組、電極基座組沿盤體的徑向間隔開設置，且有交替設置的情況。

6. 數量與間距設置：進氣孔、電極基座、進氣口、還原尾氣出口等數量有具體設定，電極基座組的相鄰電極基座在底盤周向上有特定間距。

7. 組合與分層設計：有的底盤包括第一盤體和第二盤體，兩者限定出冷卻腔。

8. 提高生產效果：能使原料氣體更均勻地進入還原爐，提高流場和溫度分布均勻性，有利于硅棒沉積，改善硅棒表面質量，避免倒棒、硅棒偏心等現象。

（圖/文/攝：太平洋汽車 整理于互聯網）