進(jìn)氣管絕對壓力傳感器的類型

進(jìn)氣管絕對壓力傳感器的種類較多，按其檢測原理可分為：1.壓敏電阻式、2.電容式、3.膜盒式、4.表面彈性波式，應(yīng)用較多的是壓敏電阻式和電容式兩種。

1.壓敏電阻式進(jìn)氣管絕對壓力傳感器：

壓敏電阻式進(jìn)氣管絕對壓力傳感器主要由絕對真空室、硅片和IC放大電路組成。

硅片的一側(cè)是真空室，而另一側(cè)承受進(jìn)氣管內(nèi)的壓力，在此壓力的作用下使硅片產(chǎn)生變形。

由于真空室的壓力是固定的，而進(jìn)氣管絕對壓力是變化的，所以硅片的變形量不同。

2.電容式進(jìn)氣管絕對壓力傳感器：

電容式進(jìn)氣管絕對壓力傳感器由彈性膜片、輸出端子和殼體等組成。電容式進(jìn)氣管絕對壓力傳感器利用電容效應(yīng)檢測進(jìn)氣管絕對壓力。

電容量的變化與彈性膜片的位移成正比，而彈性膜片的位移取決于上、下兩個空腔的氣體壓力，彈性膜片上部的空腔為絕對真空，下部空腔通進(jìn)氣管，則可通過檢測電容量的變化來檢測進(jìn)氣管的絕對壓力。

電容量的變化量再經(jīng)過測量電路轉(zhuǎn)換成電壓信號輸入ECU。

3.真空膜盒傳動的可變電感式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器：

真空膜盒傳動的可變電感式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器主要由膜盒、鐵心、感應(yīng)線圈和電子電路組成。

膜盒是由薄金屬片焊接而成，其內(nèi)部被抽成真空，外部與進(jìn)氣歧管相通。

外部壓力變化將使膜盒產(chǎn)生膨脹和收縮的變化。置于感應(yīng)線圈內(nèi)部的鐵芯和膜盒聯(lián)動。

感應(yīng)線圈由2個繞組構(gòu)成，其中一個與振蕩電路相連，產(chǎn)生交流電壓，在線圈周圍產(chǎn)生磁場，另一個為感應(yīng)繞組，產(chǎn)生信號電壓。

當(dāng)進(jìn)氣歧管壓力變化時，膜盒帶動鐵心在磁場中移動，使感應(yīng)線圈產(chǎn)生的信號電壓隨之變化。

該信號電壓由電子電路檢波、整形和放大后，作為傳感器的輸出信號送至電控單元（ECU）。

4.表面彈性波式進(jìn)氣壓力傳感器：

表面彈性波式進(jìn)氣壓力傳感器是在一塊壓電基片上用超聲波方法加工出一個薄膜敏感區(qū)，上面刻制換能器（壓敏SAW延時線），換能器與電路組合成振蕩器。

換能器是在拋光的壓電基片上設(shè)置2個金屬叉指構(gòu)成，若在輸入換能叉指T1上加電信號，便由逆壓電效應(yīng)在基片壽面激勵起彈性表面波，傳播到換能文指T2轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)放大后反饋到T1以便保持振蕩狀態(tài)。

表面彈性波（SAW）在2個換能叉指之間的傳播時間即是所獲得的延遲時間，其大小取決于2個換能叉指間的距離。由于導(dǎo)入的進(jìn)氣歧管壓力作用于壓電基片上，壓力變化將在薄膜敏感區(qū)產(chǎn)生應(yīng)變，即使換能叉指間距離發(fā)生變化。

因而，表面彈性波傳播的延遲時間相應(yīng)變化。這樣，根據(jù)與延遲時間成反比的振蕩頻率，即可輸出壓力信號。